測量范圍

 電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴展)；  
 方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴展)；
 電導率：0.005～1000 s/cm；
 電阻：0.001～200Ω.cm；

可測晶片厚度

 ≤3mm

可測晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源

 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續可調

數字電壓表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標

 間距：1±0.01mm；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
 機械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)

 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機測量相對誤差

(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

整機測量標準不確定度

 ≤4%

計算機通訊接口

 并口

標準使用環境

 溫度：23±2℃；
 相對濕度：≤65%；
 無高頻干擾；
 無強光直射；